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中科光析科學技術(shù)研究所
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發(fā)布時間:2025-05-17
關(guān)鍵詞:研磨液成分配方檢測范圍,研磨液成分配方項檢測報價,研磨液成分配方檢測標準
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來源:北京中科光析科學技術(shù)研究所
因業(yè)務(wù)調(diào)整,部分個人測試暫不接受委托,望見諒。
研磨液成分配方檢測涵蓋六大核心項目:化學成分定性定量分析、功能性添加劑濃度測定、pH值穩(wěn)定性驗證、粘度動態(tài)監(jiān)測、顆粒粒徑分布測試以及雜質(zhì)元素含量篩查。其中化學成分分析需精確識別表面活性劑(如十二烷基苯磺酸鈉)、緩蝕劑(如苯并三氮唑)、分散劑(如聚丙烯酸鹽)等關(guān)鍵組分;功能性添加劑濃度偏差需控制在0.5%以內(nèi);粒徑分布要求D50值波動范圍不超過標稱值的10%。
特殊項目包括高溫穩(wěn)定性試驗(80℃/24h)與低溫結(jié)晶點測試(-20℃),重點考察極端環(huán)境下配方體系的相態(tài)變化。金屬離子殘留檢測需滿足半導體級研磨液<1ppm的嚴苛標準,采用電感耦合等離子體質(zhì)譜法(ICP-MS)進行痕量分析。
本檢測體系適用于三類研磨液產(chǎn)品:金屬加工用油基/水基研磨液(涵蓋不銹鋼、鋁合金等材質(zhì))、半導體晶圓CMP用納米研磨漿料(包含二氧化硅/氧化鈰體系)、光學玻璃精密拋光液(涉及稀土化合物配方)。液態(tài)研磨液需區(qū)分單組分濃縮液與即用型稀釋液兩種形態(tài);膏狀研磨產(chǎn)品需額外進行觸變指數(shù)測定。
特殊應(yīng)用場景包括5G陶瓷基板拋光液(鋯英砂含量≥65%)、藍寶石襯底加工液(pH9.5-10.5)、磁性材料分散漿料(粒徑≤200nm)等新興領(lǐng)域產(chǎn)品的全成分解析。
采用ASTME1252-17標準進行傅里葉變換紅外光譜(FTIR)特征峰比對,實現(xiàn)有機物快速鑒別;依據(jù)ISO11885:2007開展電感耦合等離子體發(fā)射光譜(ICP-OES)多元素同步檢測;高效液相色譜(HPLC)按GB/T27579-2011測定苯系物衍生物含量。
動態(tài)光散射儀(DLS)執(zhí)行ISO22412:2017標準完成納米顆粒粒徑分析;旋轉(zhuǎn)流變儀參照DIN53019測定非牛頓流體粘度曲線;Zeta電位儀依據(jù)ISO13099-2:2012評估分散體系穩(wěn)定性。
關(guān)鍵設(shè)備包括:ThermoScientificiCAPRQ系列ICP-MS(檢出限達ppt級)、Agilent1260InfinityIIHPLC系統(tǒng)(保留時間重復性<0.5%)、MalvernMastersizer3000激光粒度儀(測量范圍0.01-3500μm)。輔助裝置含MettlerToledoSevenExcellencepH計(精度0.001)、BrookfieldDV2T粘度計(轉(zhuǎn)速范圍0.3-100rpm)、PerkinElmerSpectrumTwoFTIR光譜儀(波數(shù)精度0.01cm?)。
專用設(shè)備配置:高溫高壓反應(yīng)釜(最高工作壓力10MPa)用于加速老化試驗;奧林巴斯BX53M金相顯微鏡(5000倍放大)觀測磨粒形貌;安東帕MCR302流變儀執(zhí)行振蕩剪切測試。
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